Описание

Вакуумная печь с возможностью нагрева до 1000 °C для подложек размером 300 x 300 мм.

Данные печи предназначены для высокотемпературной обработки полупроводниковых пластин и подложек диаметром до 300 мм и могут применяться для различных процессов в условиях как лабораторного, так и мелкосерийного производства. Загрузка подложек в рабочую камеру печей линейки VPO-300 производится вручную. Печи легко управляемы и просты в техобслуживании. Наличие порта в стенке камеры позволяет организовать различные решения для контроля за процессом: окно для визуального контроля, установка дополнительных термопар, подача газа и др. Две программируемые газовые линии с расходомерами могут использовать два различных газа, при подключении вакуумной помпы процесс оплавления можно проводить в вакууме. 

Отличительные особенности:

• Быстрый нагрев (охлаждение)
• До 4 линий подачи газа с регуляторами расхода
• Нагрев осуществляется 48 ИК лампами
• Нагрев с верхней и с нижней стороны, область нагрева выбирается через программное обеспечение
• 50 программ по 50 шагов каждая 
• Температура нагрева до 1000 °C 
• Точный контроль температуры
• Мониторинг и чтение данных процесса
• Возможность создания в камере вакуума (до 10-3мбар опционально до 10-6 мбар)
• Сенсорный экран 7" 
• Программируемые профили температуры
• Работа в атмосфере инертных газов, кислорода, водорода, форминг газа

Области применения:

• Имплантация/ отжиг за счёт контактного нагрева
• RTP, RTA, RTO, RTN
• Легирование SiAu, SiAl, SiMo
• Работа с диэлектриками с пониженной диэлектрической проницаемостью
• Обжиг после имплантации
• Кристаллизация и уплотнение поверхности
• Разработка прототипов
• Контроль качества

Опции:

• Дополнительная линия подачи газа с регулятором массового расхода (максимум 3 единицы)
• Дополнительная термопара (максимум 2 единицы)
• Вакуумная система до 3 мбар, состоит из датчика и предохранительного клапана, помпа в комплект не входит
• Вакуумная система до 10-3 мбар, состоит из датчика и предохранительного клапана, помпа в комплект не входит
• Настольная модель с электрическим шкафом и встроенным универсальным теплообменником (UHE)
• Дополнительная камера 100 мм с  возможностью одновременного использования 2 камер
• Графитная плита или токоприемник (опционально покрытие карбидом кремния)
• Мембранная помпа для вакуума до 3 мбар
• Вращающаяся лопастная помпа для вакуума до 10-3 мбар с масляным фильтром
• Модуль водорода: позволяет использовать 100% водород, состоит из линии подачи газа и регулятора массового расхода 
• Вращающаяся лопастная помпа для вакуума до 10-3 мбар с масляным фильтром
• Замкнутая водная система охлаждения
• Камера высотой 120мм (вместо 50мм) со смотровым окном (диаметром 60мм)
• Камера из нержавеющей стали (VA 1.4305) 
• Графитная плита
• Кварцевая пластина для отделения верхней зоны нагрева
• Серийный интерфейс между системой VPO и внешним ПК
• Удаленное управление верхней крышкой
• Кварцевый универсальный держатель для пластин диаметром 100 - 300 мм

Технические характеристики

• Макс. размер пластин 300 x 300 мм
• Материал камеры Полированный алюминий, поддон из кварцевого стекла
• Высота камеры 50 мм (опционально 120 мм)
• Макс. давление вакуума до 10-3 милибар, опционально до 10-6 милибар
• Размеры рабочей камеры 350 x 350 x 50 мм
• Макс. температура 1000 ºС
• Нагрев 24 ИК лампы (21 кВт)
• Зоны нагрева верхняя и нижняя (программируемые)
• Скорость нагрева до 40 К/сек
• Скорость охлаждения с 1000ºС до 400ºС: 200К/мин, с 400ºС до 100ºС: 30К/мин
• Подача газа 1 газовая линия (опционально до 4)
• Используемые газы азот, аргон, гелий, кислород, опционально водород 
• Давление газов 2-6 бар, макс. расход 10 л/мин
• Метод охлаждения вода, азот
• Эл. Питание 3х32 А, 230 В, 3 фазы
• Габаритные размеры 505 x 504 x 830 мм
• Вес около 100 кг