В двухкристальном датчике Cool Drawer™ имеется резервный кристалл, наличие которого очень важно для критических процессов, где желательно иметь второй кристалл в вакуумной камере. Литой из нержавеющей стали корпус датчика с водяным охлаждением, два держателя кристалла Cool Drawer и затвор с пневматическим приводом обеспечивают прочность головки датчика, а резервный кристалл – дополнительную надёжность. Этот датчик не использует коаксиальные кабели внутри камеры, что способствует поддержанию более высокой чистоты в вакуумной камере и надёжности вакуумной системы в целом.
Изготавливаются датчики двух конфигураций: стандартная и прямоугольная модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. Головка датчика каждой из этих конфигураций может иметь длину в диапазоне 10-66 см.
Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов с разными способами присоединения на выбор: с 1-дюймовым резьбовым соединением или фланцем CF40.
Двухкристальные датчики Cool Drawer можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга.
Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Длина головки датчика регулируется в диапазоне 10-66 см. Датчик с привареным фланцем CF40 выбирают для высокотемпературных процессов, в которых критерий надёжности является самым важным. Изготовленный с использованием таких материалов, как нержавеющая сталь и керамика, этот датчик пригоден для приложений, требующих прогрева при высокой температуре (см. технические характеристики).
Двухкристальный датчик Cool Drawer с фланцем CF40 предварительно установлен в специальный двухкомпонентный 2 ¾-дюймовый вакуумный ввод ConFlat®. Это обеспечивает независимое от фланца вращение головки датчика и позволяет обйти пространственные ограничения из-за фланца. Длину вакуумного ввода с датчиком выбирают в диапазоне 10-66 см.
Варианты вакуумного ввода:
Фланец CF40
1-дюймовое резьбовое соединение
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d нужные цифры.
D
|
D
|
-
|
a
|
b
|
c
|
d
|
a
|
Тип датчика (Руководство по эксплуатации в комплекте. Кристаллы приобретают отдельно) |
b
|
Длина датчика – см. примечание 3; Длина: 102-660 мм (см. примечание 6) - F |
c
|
Вакуумный ввод – см. примечание 2
|
d
|
Присоединение вакуумного ввода
|
НЕ выпускаются следующие комбинации: CDD-AF48, CDD-BF48 Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".
Примечание 1:
Если вам необходимы датчики со сварным соединением с вакуумным вводом, обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно", так как заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. В CDD-AF47 и -BF47 используется двухкомпонентная гибридная конструкция вакуумного ввода из-за пространственных ограничений, обусловленных стандартным фланцем CF40.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла, наиболее близкого к концу датчика, до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «8» заказа), трубки изготавливаются длиной приблизительно 762 мм для стандартного датчика и 660 мм для прямоугольного датчика.
Технические характеристики двухкристального датчика Cool Drawer серии CDD
Поверхность
|
Нержавеющая сталь, позолоченный Cool Drawer™
|
Охлаждающая вода
|
0,2 галлона в минуту, подаётся по трубке наружным диаметром 1/8 дюйма (не допускать замерзания)
|
Кристалл
|
Промышленного стандарта, диаметр 0,55 дюйма
|
Подача воздуха
|
Регулируемая в диапазоне 55-60 psi
|
Электрическое подключение
|
2 стандартных розетки типа BNC с наружной стороны
|
Материалы
|
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®
|
Температура
|
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
Установка
|
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"
|
Материалы
|
Нержавеющая сталь 304, керамика, никель-бериллий
|
Температура
|
Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
Установка
|
Под фланцы 2 ¾-дюйма типа ConFlat®
|
Номер для заказа
|
Описание
|
147401
|
Затвор
|
147402
|
Шарнир
|
147403
|
Привод
|
147406
|
Опора сильфона
|
147407
|
Крышка сильфона
|
147408
|
Шток с резьбой
|
147411
|
Промежуточное кольцо
|
147424
|
Сильфонная труба
|
084-205
|
#4-40 x 3/16 винт со шлицем «Филлипс»
|
800128
|
#4 пружинная шайба
|
800371
|
Винт с буртиком
|
800372
|
Шайба
|
800416
|
Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма
|
803313
|
Пружина
|
123223-2
|
Паяный проводник в сборе – короткий вывод
|
803102
|
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 разъемами
|
803261
|
Шайба для регулируемого вакуумного ввода с 5 разъемами
|
Комбинации двухкристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
Комбинации двухкристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDD-AF37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDD-AF47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDD-BF47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDD-BF37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом