Полуавтоматическая система SB6/8 gen2 является современной универсальной платформой для сращивания пластин размером до 200 мм, которая поддерживает различные типы и размеры подложек. Набор конфигураций обеспечивает широкий диапазон температур, силы сращивания и давления в камере, что позволяет использовать систему для любых типов сращивания.
Гибкий комплект инструментов позволяет подстраиваться под изменяющиеся требования к процессам в полупроводниковой промышленности. К основным сферам применения относится корпусирование устройств МЭМС и СИД, а также 3D-интеграция.
Благодаря своей гибкости SB6/8 Gen2 используется для научных исследований, обеспечивая легкий переход к крупносерийному производству. Во всех сферах применения установка SB6/8 Gen2 гарантирует стабильность процессов и высокую пропускную способность.
Универсальная установка сращивания пластин – от исследований до производства
Решения SB6/8 gen2 |
|
Характеристики |
|
Гибкость процессов |
|
Оптимальные параметры процесса
Гибкость в выборе процессов делает систему SB6/8 Gen2 превосходным инструментом для целого ряда применений. Благодаря широкому выбору параметров платформа создает идеальную среду для всех типов технологий сращивания. Обеспечивает малое усилие для адгезионного сращивания, большое усилие для термокомпрессионного сращивания или эвтектическим сращиванием и предлагает различные условия давления в камере от вакуума до избыточного давления. Система SB6/8 Gen2 гарантирует великолепную стабильность температур, высокую воспроизводимость и диапазон до 550 °C. Кроме того, интуитивно-понятный графический интерфейс и редактор рецептов облегчают процедуру процесса.
Улучшенный контроль
Дизайн ПО SB6/8 Gen2 предлагает различные опции для увеличения производительности, такие как уровни доступа пользователей, автоматическая проверка рецепта, программируемые диапазоны усилия и температур, а также расширенная запись данных. Установка также позволяет проводить ручную обработку во время исследовательских процессов. В одном шаге рецепта возможно выполнение нескольких команд, например отключение насоса и включение нагрева, что обеспечивает превосходную гибкость процессов.
Безопасная загрузка пластины
SB6/8 Gen2 гарантирует полную безопасность оператора при работе с оборудованием: автоматическая система загрузки пластин с моторизованной осью Z защищает оператора от прямого контакта с горячими поверхностями и точками защемления. В конструкции закрытой камеры системы SB6/8 Gen2
Блок перемещения материала для эргономичной и стерильной загрузки пластин
используется клиновая задвижка для загрузки держателя. Такая конструкция препятствует попаданию частиц в чашу, поддерживая давление внутри на уровне немного выше окружающего, когда задвижка открыта.
Дополнительные инструменты
Установка SB6/8 Gen2 предлагает широкий выбор инструментов для различных процессов и размеров пластин. Все инструменты легко заменяются и позволяют быстро переключаться между процессами.
Головка с центрирующим штифтом
Головка без центрирующего штифта
Открытые держатели
Закрытые держатели
Держатели для нескольких пластин
Общие характеристики |
|
Размер подложки |
От кусочков до пластин 150 мм: SB6 Gen2 |
Контроль температуры |
|
Конструкция нагревателя |
Независимый резистивный нагреватель из SiN с активным охлаждением воздухом |
Максимальная температура |
До 550 °C |
Стабильность температуры |
± 1.5 % |
Воспроизводимость температуры |
± 3 °C |
Макс. скорость нагрева |
до 30 K/мин (с функцией нарастания) |
Макс. скорость охлаждения |
до 25 K/мин |
Сила сцепления |
|
Макс. сила сцепления |
20 kН |
Воспроизводимость силы сцепл. |
± 2 % |
Графический интерфейс пользователя |
|
ОС на базе MS Windows |
|
Неограниченное хранилище рецептов (ограничено только размером жесткого диска) |
|
Плоскоэкранный дисплей с клавиатурой и шаровым манипулятором |
|
Рабочая камера |
|
Мин. давление |
5x10-5 мбар после 5 мин. закачки |
Макс. давление |
Избыточное давление 2 бар (3 бар абс) |
Конструкция чаши |
Камера из электрополированной нержавеющей стали класса 1 с клиновой задвижкой |
Подача материалов |
|
Вакуум |
<100 мбар абс. |
Сжатый воздух |
6-10 бар (сжатый сухой воздух) |
Азот |
7-7.5 бар |
Требования к питанию |
208 – 230 VAC, 50/60 Гц; 25 A; 4200 Вт |
Вытяжка |
10.6 куб фт/мин |
Габариты |
|
Высота x ширина x глубина |
1200 мм / 625 мм / 1400 мм |
Вес |
340 кг |