1. Напыляемый материал: Pt, Ti, In, Al.
2. Толщина напыления: 1000~3000Å
Спецификация
Рабочая камера |
|||||
Рабочая камера |
Камера SUS с ручным открыванием двери для обслуживания Смотровое окно с заслонкой Чистящая крышка (SUS304) Вакуумная ловушка (SUS304) Возможность напуска и продува камеры Заслонка для электронной пушки открывается / закрывается пневматически Разъем для датчика определения нанесенной толщины покрытия Вращающийся подложкодержатель Ферромагнитное уплотнение |
||||
Рабочий подложкодержатель |
Рабочая область |
3 дюйма x 39 пластин 4 дюйма x 24 пластин 6 дюйма x 9 пластин |
|||
Магнитное уплотнение (ферромагнитное) |
|||||
Вращается с помощью мотора подложкодержатель |
|||||
Блок нагрева подложек |
Тип нагревателей |
Инфракрасные ламповые нагреватели |
|||
Зона нагрева |
4 (четыре) зоны |
||||
Максимальная температура |
250˚С |
||||
Модуль питания электролучевого испарителя |
|||||
Параметры электропитания электролучевого испарителя |
Входное питание |
208 В, 50/60 Гц, 50 A 400 В, 50/60 Гц, 30 A |
|||
Выходное напряжение |
12 кВт при 10 кВ макс. Регулировка с точностью ±0,5% |
||||
Ток луча |
0 ~ 1,2 A Регулируется с точностью±0,5% |
||||
Охлаждение |
Воздушное охлаждение |
||||
Электролучевой источник |
Питание |
0 ~ максимальной номинальной мощности |
|||
Тигель |
15 × 6 гнезд |
||||
Характеристики луча |
Отклонение |
270˚С |
|||
Диапазон диаметра луча/резкость |
От точно овального пучка до размыто продолговатого |
||||
Развертывающая способность |
Продольная и поперечная при работе через контроллер |
||||
Поток воды |
3,5 галлонов/мин |
||||
Заслонка для электролучевого источника |
|||||
Упругая муфта |
|||||
Проволока из каптона |
|||||
Выводы |
2 высоковольтных вывода при 12 кВ до 70 A 1 восьмеричный вывод при 600 В до 15 A на вывод 1 двухпроходной вывод для воды 3/8 дюйма. Внешним диаметром 1 поворотный вывод с валом диаметром ¼ дюйма Проходной разъем проводов электрической развертки |
||||
Развертка луча |
Формы развертки |
Определяются возможностями операционной системы Windows |
|||
Управление |
Портативный контроллер |
||||
Формы луча |
Синусоидальная, пилообразная, треугольная, произвольная |
||||
Емкость памяти |
Шаблон |
||||
Модуль плазменной обработки (для предварительной очистки) |
|||||
ВЧ блок питания |
ВЧ генератор |
Частота |
13,56 МГц |
||
Выходная мощность |
600 Вт при импедансе 50О м |
||||
Цифровой измеритель ВЧ мощности |
|||||
ВЧ согласование |
Тип управления |
Автоматический |
|||
Частота |
13,56 МГц |
||||
ВЧ кабель |
|||||
Источник тлеющего разряда |
Электрод и изоляторы |
||||
Блок измерения толщин |
|||||
Измеритель толщин |
Разрешение |
±0,028 Гц |
|||
Интервал измерения |
0,25 с |
||||
Толщины и разрешение |
0,034Å Оборудования/плотность=100 |
||||
Рабочая частота |
6 МГц |
||||
№. процессов |
1 |
||||
№. слоёв |
1 |
||||
№. материалов |
9 |
||||
№. сенсоров |
2 стандартно |
||||
№. внешних источников |
2 стандартно |
||||
Расположение осцилляторов |
|||||
Датчик измерения толщины |
Подключение воды |
фланец 2,75”CF |
|||
Сенсор включает трубки для водяного охлаждения, сигнальный коаксиальный кабель с вакуумным уплотнением, десять кристаллов, устройство монтажа/демонтажа кристаллов и руководство для пользователя |
|||||
ВАКУУМНЫЙ МОДУЛЬ |
|||||
Вакуумный насос |
Крио насос |
Установлен |
|||
Скорость откачки |
17,500 л/с водяное охлаждение |
||||
Безмасляный насос |
Скорость откачки |
10,333 л/мин |
|||
Предельное давление |
5×10-7 мм.рт.ст. |
||||
Датчик давления |
Датчик высокого вакуума |
Ионный датчик с горячим катодом |
|||
Датчик среднего вакуума |
Конвектрон |
||||
Набор кабелей |
|||||
Вакуумные клапаны |
Основной клапан |
Пневматический запорный клапан |
|||
Клапаны насосной линии |
Пневматические клапаны |
||||
Клапаны грубых линий |
Пневматические клапаны |
||||
Клапаны мягкой откачки |
Пневматические клапаны |
||||
Вакуумная линия |
SUS линии трубок из нержавеющей стали и гибких трубок |
||||
Блок распределения газов |
|||||
Используемые газы и управление |
Рабочий газ |
O2 |
РРГ (для предварительной очистки подложек) |
||
Напуск и продувка |
N2 |
Клапан мягкого и быстрого напуска |
|||
Газовые клапаны и газовые линии |
Используются пневматические клапаны Swagelok с управлением сжатым воздухом Трубки из 316 L нержавеющей стали, электрополированные. Все газовые линии соединены VCR коннекторами. Газовая линия для проверки течей (He) 10-8 мм.рт.ст.·л/с. |
||||
Блок управления |
|||||
Система управления |
Автоматическое управление с ПК |
Промышленный ПК (PENTIUM, LCD монитор17”) |
|||
Включает аналоговые и цифровые I/O карты |
|||||
Специализированное ПО управления процессом |
|||||
Простой графический интерфейс |
|||||
Запись данных процесса |
|||||
Изменение, сохранение, загрузка и запуск рабочих программ |
|||||
Панель электрического управления |
Основной выключатель |
||||
Кнопка аварийного выключения |
|||||
Предохранители |
|||||
Рама с электроникой |
Панель управления параметрами луча Панель управления электропитанием луча Панель управления тиглем Панель управления ВЧ мощностью Панель управления измерителем толщины Панель управления вакуумными датчиками |
||||
Панель управления подложкодержателем |
Датчик положения Измерение скорости вращения Счетчик вращения |
||||
Привод электропитания |
|||||
Рама |
|||||
Системная рама |
Рама сделана из стали Панели покрашены белым и синим цветами 19 дюймовая панель управления Перемещение с помощью роликов и выравнивание по уровню |