Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительАвстрия
Описание:
- Новое ПО для контроля техпроцесса
- Улучшенная эргономика
- Возможность установки нескольких сварочных камер
- Уменьшенная занимаемая площадь
- Соответствие высоким стандартам безопасности
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS обеспечивает полностью автоматическую сварку пластин с ручной загрузкой и выгрузкой. EVG520IS проста в управлении и обеспечивает высокую производительность. В систему входит встроенная станция охлаждение и хранилище для держателей и сваренных пластин.
EVG520IS является лучшим решением для научно-исследовательских и производственных задач, поддерживает все технологии сварки пластин с контролем температуры, электрического напряжения, равномерности контактного усилия и рабочей атмосферы, обеспечивает быстрое вакуумирование рабочей камеры, быстрый нагрев и охлаждение. Модульная конструкция сварочной камеры для 150мм и 200мм пластин обеспечивает совместимость с автоматической промышленной системой сварки пластин GEMENI.
Поддерживаемые технологии сварки
- Анодная сварка
- Термокомпрессионная сварка (стеклоприпой, эвтектика, металлическая диффузия, сварка с использованием полимерного клея)
- Непосредственная сварка (SDB, SOI)
- Низкотемпературная сварка пластин с предварительно активированной плазмой поверхностью на установке EVG810
- Конфигурация для сварки стеков из 2-х и 3-х пластин
Технические характеристики
|
Модель |
EVG®510 | EVG®520IS | EVG®540 | EVG®560 | GEMINI | ||
|
Размер нагревателя=макс. размеру обраб. пластины |
150 мм |
* |
* |
* |
* |
* |
|
|
200 мм |
* |
* |
* |
* |
* |
||
|
300 мм |
|
* |
* |
* |
* |
||
|
Мин. размер обраб. пластины/подложки |
С 150 ммнагревателем |
Одиночные кристаллы |
Одиночные кристаллы |
50 |
50 |
50 |
|
|
С 200 ммнагревателем |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
||
|
С 300 ммнагревателем |
|
|
200 |
200 |
200 |
||
|
Система совмещения и фиксации пластин |
С 150 ммнагревателем |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
EVG610, EVG620, EVG6200, IQ, SmartView |
SmartView |
|
|
С 200 ммнагревателем |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
EVG6200, IQ, SmartView |
SmartView |
||
|
С 300 ммнагревателем |
|
|
IQ, SmartView |
IQ, SmartView |
SmartView |
||
|
Максимальное контактное усилие |
3.5 кН, 7кН, 10кН |
3.5 кН, 7кН, 10кН, 40кН, 60кН |
|||||
|
Максимальная температура |
550оС (650оС опционально) |
550оС (600оС опционально) |
|||||
|
Вакуум |
1*10-3 мБар (стандартно), 1*10-5 мБар (опционально), дополнительные линии подачи газа (опция) |
||||||
|
Электропитание для процесса анодной посадки |
0-2000В/50мА |
||||||
|
Загрузка пластин в камеру |
ручная |
ручная |
3-осный робот |
5-осный робот |
5-осный робот |
||
|
Полная программная совместимость с системой GEMINI |
* |
* |
* |
* |
* |
||
|
Максимальное количество камер сварки пластин |
1 |
2 |
1 |
от 4 до 10 |
от 4 до 10 |
||
|
Область применения |
Опытно-конструкторское производство |
|
|
|
|||
|
|
Мелкосерийное производство |
|
|
||||
|
|
Крупносерийное производство |
||||||
Полуавтоматическая система сварки пластин EVG520IS
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии